GB/T 8758-1988 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测定。可测厚度大于2μm。要求衬底电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。
英文名称：
Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
标准状态：
已作废
替代情况：
被GB/T 8758-2006代替
中标分类：
冶金 - 金属理化性能试验方法 - H21金属物理性能试验方法
ICS分类：
冶金 - 金属材料试验 - 77.040.30金属材料化学分析
UDC分类：
661.868.1.46;620.1
发布部门：
国家标准局
发布日期：
1988-02-25
实施日期：
1989-02-01
作废日期：
2006-11-01
首发日期：
1988-02-25
复审日期：
2004-10-14
归口单位：
中国有色金属工业协会
主管部门：
中国有色金属工业协会
起草单位：
北京有色金属研究总院
页数：
5页
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