GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件
本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在１０－１～１０－３Ｐａ范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。
英文名称：
Vacuum coating plant generic specification
标准状态：
已作废
替代情况：
GB/T 11164-1989;被GB/T 11164-2011代替
中标分类：
机械 - 通用机械与设备 - J78真空技术与设备
ICS分类：
流体系统和通用件 - 23.160真空技术
发布部门：
国家质量技术监督局
发布日期：
1999-04-08
实施日期：
1999-09-01
作废日期：
2012-06-01
首发日期：
1989-03-31
复审日期：
2004-10-14
归口单位：
全国真空技术标准化技术委员会
主管部门：
中国机械工业联合会
起草单位：
上海通用机械研究所
页数：
平装16开， 页数：8， 字数：9千字
出版社：
中国标准出版社
书号：
155066.1-16228
出版日期：
2004-04-09
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