GB/T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准
本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10-12Pa·m3·s-1漏率漏孔限制。本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。
英文名称：
Vacuum technology--Mass-spectrometer-type leak detector calibration
中标分类：
机械 - 通用机械与设备 - J78真空技术与设备
ICS分类：
流体系统和通用件 - 23.160真空技术
采标情况：
idt ISO 3530:1979
发布部门：
国家质量技术监督局
发布日期：
2000-09-02
实施日期：
2001-02-01
首发日期：
2000-09-26
复审日期：
2023-12-28
归口单位：
全国真空技术标准化技术委员会
主管部门：
中国机械工业联合会
起草单位：
沈阳真空技术研究所
页数：
16页
出版社：
中国标准出版社
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