GB/T 43915-2024 纳米几何量标准样板测试方法
本文件规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理。
本文件适用于线间隔为50 nm~100 nm的纳米线间隔标准样板、线宽为20 nm~100 nm的纳米线宽标准样板、台阶高度为10 nm~100 nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为2 nm~100 nm的纳米膜厚标准样板的测试。
英文名称：
Testing method for nano geometric standard samples
中标分类：
机械 - 工艺装备 - J42量具与量仪
ICS分类：
计量学和测量、物理现象 - 长度和角度测量 - 17.040.30测量仪器仪表
发布部门：
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：
2024-04-25
实施日期：
2024-11-01
归口单位：
全国量具量仪标准化技术委员会(SAC/TC 132)
起草单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、同济大学、天津大学、中国计量科学研究院、广西壮族自治区计量检测研究院、中国测试技术研究院、苏州天准科技股份有限公司
起草人：
吴爱华、付兴昌、李锁印、许晓青、邹学锋、韩志国、赵琳、张晓东、冯亚南、梁法国、许刚、何宜鲜、朱振宇、李强、万宇、雷李华、傅云霞、曾艳华、管钰晴、邓晓、刘庆纲、张恒、施玉书、苏翼雄、冉庆、曹葵康
页数：
20页
出版社：
中国标准出版社
