GB/T 44926-2024 纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法
本文件描述了采用光学暗场共焦显微镜对微区表面及亚表面的表征方法。
本文件适用于固体材料。
英文名称：
Nanotechnologies—Characterization of micro surface and sub surface—Optical dark-field confocal microscopy
中标分类：
仪器、仪表 - 物质成分分析仪器与环境监测仪器 - N51物性分析仪器
ICS分类：
计量学和测量、物理现象 - 长度和角度测量 - 17.040.30测量仪器仪表
发布部门：
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：
2024-12-31
实施日期：
2025-07-01
提出单位：
中国科学院
归口单位：
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
起草单位：
哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院、昆明物理研究所、西安应用光学研究所、北京微电子技术研究所、航天科工防御技术研究试验中心
起草人：
刘俭、施玉书、刘辰光、张树、胡旭、张云龙、李冬梅、冯慧
页数：
24页【彩图】
出版社：
中国标准出版社
