GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件
本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于压力在10-5 Pa~10-3 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。
英文名称：
Vacuum coating plant generic specification
替代情况：
替代GB/T 11164-1999
中标分类：
机械 - 通用零部件 - J18链传动、皮带传动与键联结
ICS分类：
流体系统和通用件 - 23.160真空技术
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期：
2011-11-21
实施日期：
2012-06-01
首发日期：
1989-03-31
提出单位：
中国机械工业联合会
归口单位：
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
主管部门：
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
起草单位：
北京北仪创新真空技术有限责任公司、上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成都南光机器有限公司等
起草人：
陈月增、谢钧荣、范立群、孙凯、温发兰、靳毅、刘强、惠进德、王学智
页数：
12页
出版社：
中国标准出版社
出版日期：
2012-06-01
