GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。
英文名称：
Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
替代情况：
替代GB/T 8758-1988
中标分类：
冶金 - 金属理化性能试验方法 - H21金属物理性能试验方法
ICS分类：
冶金 - 金属材料试验 - 77.040.30金属材料化学分析
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期：
2006-07-18
实施日期：
2006-11-01
首发日期：
1988-02-25
复审日期：
2023-12-28
提出单位：
中国有色金属工业协会
归口单位：
中国有色金属工业协会
主管部门：
中国有色金属工业协会
起草单位：
北京有色金属研究总院
起草人：
王彤涵
计划单号：
20021942-T-610
页数：
平装16开/页数：7/字数：8千字
出版社：
中国标准出版社
书号：
155066·1-28139
出版日期：
2006-11-01
