GB/T 44538-2024 碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能
本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。
英文名称：
Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
中标分类：
综合 - 基础标准 - A29材料防护
ICS分类：
机械制造 - 表面处理和涂覆 - 25.220.99其他处理和涂覆
采标情况：
ISO 23216:2021
发布部门：
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：
2024-09-29
实施日期：
2025-04-01
提出单位：
中国机械工业联合会
归口单位：
全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会(SAC/TC 57)
起草单位：
中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有限公司
起草人：
段海涛 贾丹 曹一莹 张心凤 沈学忠 高明 詹胜鹏 凃杰松 王彦峰 王流火 杨田 陈辉 骆小双 尤锦鸿 易娟 苏东艺
页数：
12页
出版社：
中国标准出版社
