本文件规定了宇航用集成电路内引线采用气相沉积保护膜工艺后的气相沉积保护膜检验方法、电力学环境试验方法。
本文件适用于完成气相沉积保护膜的宇航用集成电路的试验。
英文名称:
Test methods for space vapour deposition protective film on semiconductor wire
中标分类:
综合 - 基础标准 - A29材料防护
ICS分类:
航空器和航天器工程 - 49.040有关航空航天制造用涂覆与有关工艺
发布部门:
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:
2023-09-07
实施日期:
2024-01-01
提出单位:
全国宇航技术及其应用标准化技术委员会(SAC/TC 425)
归口单位:
全国宇航技术及其应用标准化技术委员会(SAC/TC 425)
起草单位:
北京微电子技术研究所、中国航天电子技术研究院
起草人:
赵元富、姚全斌、林鹏荣、冯小成、荆林晓、李洪剑、付明洋、林建京、曹燕红、刘思嘉、刘征宇
页数:
16页
出版社:
中国标准出版社