GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、 材料与设备、环境条件、加工方法。
本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。
英文名称：
Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
中标分类：
综合 - 基础学科 - A42物理学与力学
ICS分类：
数学、自然科学 - 07.030物理学、化学
发布部门：
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：
2022-12-30
实施日期：
2023-07-01
提出单位：
中国科学院
归口单位：
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
起草单位：
中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院
起草人：
顾长志、杨海方、李俊杰、刘前、王益群、樊阳波
页数：
12页
出版社：
中国标准出版社
