T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢
本标准规定了集成电路用过氧化氢(H2O2)的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于集成电路制造过程中使用的过氧化氢。
分子式：H2O2
相对分子质量：34.01(按2011年国际相对原子质量)
英文名称：
Hydrogen peroxide for intergrated circuits
中标分类：
化工 - 化学试剂 - G64高纯试剂、高纯物质
ICS分类：
化工技术 - 无机化学 - 71.060.20氧化物
发布部门：
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：
2019-04-17
实施日期：
2019-10-10
提出单位：
集成电路材料产业技术创新联盟(ICMtia)
归口单位：
集成电路材料产业技术创新联盟(ICMtia)
起草单位：
苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司
起草人：
刘兵、钱森林、王洪华、傅华、高小云、康劲、葛军、赵健、柴春玲、赵晓东、张惠平
页数：
24页
出版社：
中国标准出版社
出版日期：
2021-08-01
