GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。
本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。
本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
英文名称：
Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic step
中标分类：
仪器、仪表 - 仪器、仪表综合 - N04基础标准与通用方法
ICS分类：
试验 - 19.020试验条件和规程综合
采标情况：
ASTM E 2530:2006 MOD
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期：
2011-12-30
实施日期：
2012-05-01
首发日期：
2011-12-30
提出单位：
中国科学院
归口单位：
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
主管部门：
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
起草单位：
国家纳米科学中心
起草人：
朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁
页数：
16页
出版社：
中国标准出版社
出版日期：
2012-05-01
